Technology Computer-Aided Design (TCAD)工具使用先进的数值模拟技术求解物理方程式用以进行工艺模拟和器件仿真，是半导体工艺和器件研发过程中不可或缺的工具。

 

产品简介：

 

Silvaco提供了TCAD Driven CAD Environment，这一套完整的工具使得物理半导体工艺可以给所有阶段的IC设计方法提供强大的动力：制程模拟和器件工艺；SPICE Model的生成和开发；interconnect parasitics的极其精确的描述；physically-based可靠性建模以及传统的CAD。所有这些功能整合在统一的框架，提供了工程师在完整的设计中任何阶段中所做更改导致的性能、可靠性等效果直接的反馈。

 

TCAD (VWFⅡ)

 

 1， Process Technology Simulation

Athena是一套通用的、具有标准组件以及可拓展性的一维和二维制程模拟器，可用于Si或其它材料的工艺开发。Athena由四套主要的工具组成：SSuprem4用于模拟Si工艺的implantation, diffusion, oxidation and silicidation ；Flash用于模拟先进材料工艺的implantation, activation and diffusion；Optolith用于lithography模拟；Elite用于topography模拟。Athena还提供了硅化物建模和ion implantation, etching 和 deposition的Monte Carlo建模方法。

 

2， Device Technology Simulation

Atlas是一套通用的、具有标准组件以及可拓展性的一维和二维器件模拟器。Atlas适用所有的半导体工艺器件模拟，包括两个主要的模拟器：S-Pisces用于Si器件模拟; Blaz模拟先进材料构成的器件和复杂的构造。Giga, MixedMode, ESD, TFT, Luminous 和 LASER提供给S-Pisces和Blaz专门的功能。Giga支持非等温计算；MixedMode可以模拟如下电路：部分器件用到SPICE Model，部分用到Atlas Model；ESD模拟静电效应；TFT添加了模拟无定型和多晶材料构成的器件需要的model；Luminous加入包括光线轨迹跟踪的光电子作用；LASER支持半导体LASER器件的模拟。

 

Analog Solution (Analog Alliance)

 

1， Parameter Extration and Spice Modeling
UTMOST：Data Acquisition & Parameter Extraction
UTMOST是一套全面的数据采集和参数萃取工具。UTMOST可以控制大量的商用硬件和探测器，用户在配置测量测试系统时得以拥有极大的便利。UTMOST拥有许多独特的特性，可以对器件参数和模型行为进行详尽的分析。

SPAYN：Statistical Parameter & Yield Analysis
SPAYN是第一套为半导体业界定制的最好的统计分析软件。针对现今DSM设计和制造带来的挑战，Silvaco为统计/worst-case线路设计和过程控制提供了艺术级的解决方案。SPAYN是理想的用于分析来自模型参数萃取方程、电子测试程序和线路测试测量的变量的统计建模工具。

2， Circuit Simulation

SMARTSPICE: Multi-Platform Advanced Analog Circuit Simulator

SMARTSPICE 重新定义了精度、收敛和速度的业界标准。Silvaco 数字半导体工艺和器件模拟器的主要提供商，所以Silvaco带来了更高级的数字技术、物理器件知识和数学模型。与其它供应商相比，Silvaco拥有独一无二的地位，可以把这些知识融入SPICE市场。

VERILOG-A: SMARTSPICE VERILOG-A Interface

SMARTSPICE VERILOG-A Interface 可以把VERILOG-A 模块包含在网表中。VERILOG-A 是一种模拟硬件描述语言(AHDL)，辅助设计行为级analog系统。标准的SPICE Models (BSIM3v3, MOS9, VBIC, HICUM等)可以由VERILOG-A描述。用户也可以把SPICE model和VERILOG-A模块混合在同一个SMARTSPICE网表中。自从2000年3月，VERILOG-A已通过OVI(Open Verilog International)的标准定义, 成为IEEE 1364 Verilog HDL 标准的扩充部分。

 

CAD (Legacy)

 

1， Interconnect Parasitic Extration
Discovery是完整的Interconnect Parasitic Extration框架，包括：

EXACT

Capacitance. Extraction. EXACT 的结果可被用于LPE工具的输入或统计变量的分析。

CLEVER

CLEVER 可以帮助器件工程师和线路工程师得到有关Custom IC Cell的高精度和已优化的的interconnect parasitics参数。

QUEST

High Frequency Parasitic Extraction. QUEST 是一套用于萃取和分析来自连接线在震荡信号下电阻、电容、电感和电导等模拟变量。QUEST输出的W-Element 传输线模型可以被SMARTSPICE直接用来描述线路的高频特性。QUEST应用于微波频率，任意制程和DSM设计。

 

2， Circuit Design, Layout and Verification

CELEBRITY是用于DSM IC 设计和验证的整合系统，包括：
Scholar: Schematic Editor
Expert: Advanced Custom ULSI Layout Editor
Savage: Design Rule Checker
Maverick: Hierarchical Netlist Extractor
Guardian: Hierarchical LVS Verification

 

Integration

 

1，    VWF Interactive Tools

把Silvaco强大的制程，器件和工艺模拟器整合到一个高效TCAD工作流程中。这些交互式的工具方便了TCAD模拟中的输入、执行、执行期间优化和结果的处理。
所包含的工具：
DeckBuild: Run Time Environment
TonyPlot: Interactive Visualization Utility For 1D/2D
TonyPlot3D: Interactive Visualization Utility For 3D
DevEdit: Structure and Mesh Editor
MaskViews: Layout Editor
Optimizer: Optimization Capability

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